Merkmale
- Messprinzip: Streifenprojektionslicht
- Vergrößerung: 12x bis 160x (Bei Verwendung mit einer 15-Zoll-Vollbildanzeige)
- Messauflösung (Höhenmessung): bis zu 0,1 µm
- Wiederholgenauigkeit (σ) (Höhenmessung): bis zu 0,4 µm
- Messgenauigkeit (Höhenmessung): ±2,5 µm
- XY Messbereich: 300 x 150 mm
Ansprechpartner
Christian Voigt (M.Sc.)