Merkmale
- Messprinzip: Konfokale Lochblendenoptik, Fokusvariation
- Vergrößerung: 42x bis 28800x (Bei verwendung mit einer 23-Zoll-Vollbildanzeige)
- Anzeigeauflösung in Z, Laser: 1 nm
- Wiederholgenauigkeit (σ) in Z, Laser: 10×: 100 nm, 20×: 40 nm, 50×: 20 nm
- Anzeigeauflösung in XY, Konfokaler Laser: 1 nm
- Wiederholgenauigkeit (3σ) in XY, Laser: 10×: 400 nm, 20×: 100 nm, 50×: 50 nm
- Anzeigeauflösung in Z, Fokusvariation: 1 nm
- Wiederholgenauigkeit (σ) in Z, Fokusvariation: 5×: 500 nm, 10×: 100 nm, 20×: 50 nm, 50×: 30 nm
- Anzeigeauflösung in XY, Fokusvariation: 1 nm
- Wiederholgenauigkeit (3σ) in XY, Fokusvariation: 5×: 400 nm, 10×: 400 nm, 20×: 120 nm, 50×: 65 nm
- max. Probenhöhe: 70 mm
Ansprechpartner
Christian Voigt (M.Sc.)