Merkmale
- Pixelgröße: 15 µm
- Inspektionsgeschwindigkeit: 30 cm²/s
- Höhenauflösung: 0,37 µm
- Achsentoleranz: ±25µm
- Maximale Pastenhöhe: 1000µm
- Minimale Pastenabmessungen: 90 µm x 130 µm
- Minimaler Pasten-Pitch: 150 µm
Ansprechpartner
Ben Rachinger (M.Sc.)
Sven Meier (M.Sc.)