Merkmale
- Aufheizrate: max. 4K/s
- Aufheiztemperatur: 400°C
- Platziergenauigkeit: 5µm
- Zoom-Faktor: 6
- Vergrößerung/Bildfelddurchmesser: 9,9x/23,9mm bis 63x%3,8mm
- Temperaturkonstanz an der Messstelle: ± 3%
- Übertemperaturabschaltung: >420°C
- Max. Luftstromtemperatur: 360°C
- Eingangsdruck: 6 bar (+1/-0,5)
- Für Substrate bis: 234 mm x 410mm