AusstattungNiederdruck-Plasmaanlage Diener Electronics Femto-SL-PCCE
Die Femto-SL-PCCE von Diener Electronics ist ein kompaktes, vielseitiges Niederdruckplasmasystem für Labor- und Kleinserienanwendungen. Das Gerät nutzt die kalte Plasmatechnologie im Vakuum zur kontrollierten Feinstreinigung, Oberflächenaktivierung, Ätzung sowie zur Beschichtung dünner Schichten auf nahezu beliebigen Substratoberflächen. Das Plasma wird durch Anlegen einer hochfrequenten Spannung in der evakuierten Kammer erzeugt, wobei das eingeleitete Prozessgas ionisiert wird. […]Die Femto-SL-PCCE von Diener Electronics ist ein kompaktes, vielseitiges Niederdruckplasmasystem für Labor- und Kleinserienanwendungen. Das Gerät nutzt die kalte Plasmatechnologie im Vakuum zur kontrollierten Feinstreinigung, Oberflächenaktivierung, Ätzung sowie zur Beschichtung dünner Schichten auf nahezu beliebigen Substratoberflächen. Das Plasma wird durch Anlegen einer hochfrequenten Spannung in der evakuierten Kammer erzeugt, wobei das eingeleitete Prozessgas ionisiert wird. […]
